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半导体洁净车间
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洁净车间也叫无尘车间、洁净室、无尘室,是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除,并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内,而所给予特别设计之房间。亦即是不论外在之空气条件如何变化,其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。

洁净室选用不同的送风及回风系统的不同设计是决定洁净车间不同洁净度等级决定性因素。

模式一:标准组合室空调风柜+空气过滤系统+洁净室通风保温管道+HEPA高效送风口+洁净室回风管道系统的工作原理,不断的循环和补充新风送人洁净室车间内,以达到生产环境所需的洁净度。

模式二:洁净车间天花安装FFU工业空气净化器直接往洁净室送风+回风柱回风系统+吸顶式空调机制冷的工作原理。这种形式一般对用于环境洁净度要求不是非常高的场合,并且成本相对低一些。如食品生产车间、普通的理化实验室工程、产品包装间、化妆品生产车间等。

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